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A Wiley-Interscience publication
1994
Signatur: YFC1173





Internat. ed, 1995
Signatur: YFC1199


SPIE Press monograph : ..., IEE materials and devices series : ...
1997-
Signatur: UIY2420








Dry etching for VLSI
Updates in applied physics and electrical technology
1991
Signatur: YGY2018






Materials science and process technology series : Electronic materials and process technology
1992
Signatur: YFC1181